汉威科技新品发布！护航半导体产业电子气体安全

　　等半导体材料为基础的战略性支柱产业，也是典型的技术密集、资金密集型产业。其制造工艺复杂，涵盖硅片制造、

　　由于半导体晶圆制程的持续不断的发展，线宽越来越窄，对生产的基本工艺的要求也慢慢变得高，这些因素都对半导体晶圆工厂各个系统的持续无故障运行能力及所提供给生产的基本工艺制程相关的原料的品质提出了更高的要求。

　　在半导体生产制作的完整过程中，电子气体是仅次于硅片的第二大制造材料，品类多达上百种，被誉为“芯片血液”。电子气体包括电子大宗气体和电子特种气体两大类，其中电子大宗气体是生产制作的完整过程中的环境气、保护气和载体，而电子特种气体主要使用在于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时，在半导体生产制作的完整过程中，还可能会产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。

　　电子气体与废气多为易燃易爆、有毒有害、腐蚀性、窒息性气体，而半导体制造车间多为无尘密闭环境，且配备回风系统，若发生危险气体泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能会导致爆炸、人员窒息或中毒事故。因此，用气安全问题不容忽视，一定要进行气体检测。《特种气体系统工程技术标准》（GB50646-2020）中有强制性规定，储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置：

　　②生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；

　　汉威科技集团推出的半导体工厂气体检测仪GD-HS10，是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害化学气体泄漏的高端产品，具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点，可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体，适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。据悉目前该产品已经成功应用于多家半导体行业制造工厂，并获得用户的一致认可。

　　高精度微小泄漏检测。每种气体都有对应的温度补偿及融合算法，零点自动校准，可实现精准微小泄漏检测，性能达行业领先水平。

　　支持上百种气体。支持电化学、催化燃烧、光学等多种原理传感器，支持上百种气体，可实现用户个性化检测需求。

　　电磁泵吸设计。采用电磁泵吸原理吸气，磨损小，寿命长，流量恒定，30米超长进气管，快插接头设计，安装便捷。

　　点阵式LCD大屏显示。界面美观易读，气体名称、浓度、报警情况等一目了然，适合国内用户习惯。

　　后摩尔时代，半导体行业的生产的基本工艺难度不断加大，生产制造成本不断升高，电子特种气体的成本占比高达13%，部分高端进口气体价格非常昂贵，每公斤价格可达数万元，气体泄漏不仅会造成财产损失，还会造成工伤事故。在此背景下，半导体工厂气体检测仪将成为刚需产品，并在半导体企业安全生产和降本增效过程中发挥重要作用。

　　环境、可燃粉尘环境、厂区巡检区域、特殊作业区域、工业火气报警区域等，为不同的应用场景研发推出相应的智能仪器仪表，对工业场所的危险

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　　行业是现代社会的重要组成部分，为智能手机、电动汽车等各种设备提供核心动力。然而，

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